年月，微米工艺制程的国产光刻机研发成功，并且，已经一开始小规模的推广。当然了，一开始仅有新创业半导体公司和骊山半导体公司，两家公司各自购买了一台。这倒不是因为微米光刻机昂贵的问题，更关键的是，微米的光刻机的产能还是比较慢的。宣布研发成功时，一共三台，一台是内部继续改进使用，一台卖给了骊山半导体，一台卖给了新创业半导体。
之后，预计两个月能生产一台微米的光刻机，一年能生产台。想要提升生产速度，则是需要时间，相关产业渐渐跟上了发展，能更高效率的供应零部件。
四年前，也是林蒙科技公司，在微米光刻机项目上，填补了国内的空白。
在一开始，国产的微米光刻机，也并不比进口的光刻机便宜，每台售价亿人民币，大致上价值万美元一台。加上其他的配套设备，微米工艺级的芯片工厂，投入高达亿人民币以上。跟欧美和日本的同行相比，设备一开始并没有优势。甚至，由于欧美和日本一微米工艺普及的比较早，生产线比国内自主研发的微米生产线更便宜。
当然了，海外进口的先进设备，更便宜是建立在国内能够自己研发和生产微米工艺生产线的基础上。
如果，国内不具备微