步削减相关补贴，曾一度成为高新技术投资领域宠儿的光伏产业，也迅速变成了昨日黄花。
而八十年代的光伏产业还只是小荷才露尖尖角，太阳能电池才刚刚开始在计算器等一些小型的电子产品上进行应用。但为太阳能电池开发的非晶硅技术已经逐步成熟，其实如果单从硅的光电转换效率上来说，从高到低依次为单晶硅、多晶硅和非晶硅。
用单晶硅来制造太阳能电池，光转化效率虽然最高。但制造成本也最为昂贵，远没有非晶硅那样低廉。所以从七十年代开始，最先引来研发热潮的是非晶硅技术。
硅在半导体工业中是用来作衬底，高纯度的单晶硅先被拉制成硅棒，然后切片制备成晶圆。然后在通过cvd（化学气相沉积）、光刻、蚀刻等一系列复杂的工艺流程，在晶圆上制造大量的微小电路。从而形成超大规模集成电路。
而在tft液晶中却有所不同，它需要在在衬底的基板玻璃上先附上一层硅膜，然后再在这层硅膜上制造用来控制液晶显示的集成电路。而制备晶圆的工艺，显然无法用于液晶面板上硅膜制造。相反半导体工艺中用来形成稳定固态薄膜的cvd设备，恰好可以解决在玻璃基板上覆盖硅膜的难题。
但cvd设备除了